Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/10030
Title: Физическая химия и технология тонкопленочных химических сенсоров и микросистем. Программа спецкурса
Authors: Савицкий, Александр Александрович
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 25-May-2012
Abstract: Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/10030
Appears in Collections:Архив (Химия)



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.