Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/182261
Заглавие документа: Structure, phase composition and hardness of TiZrAlN films with different Al content
Авторы: Uglov, V. V.
Saladukhin, I. A.
Abadias, G.
Daniliuk, A. Yu.
Zlotski, S. V.
Dub, S. N.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2017
Издатель: Минск: Изд. центр БГУ
Библиографическое описание источника: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 355-357.
Аннотация: Quaternary TiZrAlN films were grown at Ts=600°C by reactive magnetron sputtering in Ar+N2 plasma discharge from elemental targets. Deposition occurred at the constant power of Ti and Zr targets, while changing the Al power and adjusting the N2 flow rate, resulting in stoichiometric nitride films (N concentration ~ 50 at.%) with Al content up to 37 at.% and fixed Zr:Ti ratio of 1:1. It is shown that single-phase, cubic (Ti,Zr)1-xAlxN solid solutions are stabilized upon incorporation of Al. The lattice parameter of Al-containing films linearly decreases with the increase in Al concentration. For these films the maximum hardness (25 GPa) is achieved at Al content of 19 at.%
Доп. сведения: Секция 5. Влияние излучений на структуру и свойства покрытий
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/182261
ISBN: 978-985-553-446-5
Располагается в коллекциях:2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
355-357.pdf313,47 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.