Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/26349
Заглавие документа: PULSE PHOTON TREATMENT OF TiN/Ti/Si SYSTEM
Авторы: Chaplanov, A. M.
Karwat, С.
Kolos, V. V.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2011
Библиографическое описание источника: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011.
Аннотация: The papes present an effect of arsenium dose implanted in silicon substrate on titanium silicide growth during pulse photon processing.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/26349
Располагается в коллекциях:2011. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Chaplanov-Маркевич+Deshkovs.pdf503,44 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.