Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/28072
Заглавие документа: ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ СТРУКТУРЫ Cu/Al, СФОРМИРОВАННОЙ ДИНАМИЧЕСКИМ АТОМНЫМ ПЕРЕМЕШИВАНИЕМ
Авторы: Ташлыков, И. С.
Тульев, В. В.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2011
Библиографическое описание источника: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011.
Аннотация: В данной работе с помощью резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным мо- делированием был проведен анализ элементного состава структур Cu/Al, полученных осаждение меди на алюминие- вую подложку методом динамического атомного перемешивания. В качестве ассистирующих ионов использовались ионы аргона с энергией 6 кэВ. Плотность ионного тока составляла ∼20 мкА/см2, интегральный поток ионов аргона (0,7-1,6)⋅1016 ион/см2. Проведенное исследование позволило установить, что создаваемые структуры содержат ∼10 ат.% меди, ∼1 ат.% кислорода и ∼0,3 ат.% аргона. При этом наблюдается проникновение атомов алюминия в пленку меди вследствие атомного перемешивания, проникновение атомов меди и кислорода в алюминий вследствие радиационно- стимулированной диффузии, а также распыление пленки меди.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/28072
Располагается в коллекциях:2011. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Тульев.pdf269,2 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.