Browsing by Author Дорохович, К. А.
Showing results 1 to 1 of 1
| Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|---|
| 2023 | Повышение селективности плазмохимического травления SiO2/Si при использовании смеси CHF3/CF4 | Наливайко, О. Ю.; Карась, О. В.; Дорохович, К. А.; Жигулин, Д. В. |