Browsing by Author Жарин, А. Л.
Showing results 1 to 5 of 5
Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
| 2020 | Бесконтактное картирование примеси железа в кремнии зондовым зарядочувствительным методом | Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л.; Тявловский, К. Л.; Пантелеев, К. В.; Воробей, Р. И.; Свистун, А. И.; Пилипенко, В. А.; Петлицкий, А. Н. |
| 2016 | Бесконтактное определение пространственного распределения времени жизни неравновесных носителей заряда в кремнии на основе анализа спектральной зависимости поверхностной фотоЭДС | Жарин, А. Л.; Гусев, О. К.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Воробей, Р. И.; Пантелеев, К. В. |
| 2020 | Зондовые зарядочувствительные методы в технологическом контроле производства больших интегральных схем | Тявловский, К. Л.; Тявловский, А. К.; Гусев, О. К.; Воробей, Р. И.; Жарин, А. Л.; Свистун, А. И.; Пилипенко, В. А.; Петлицкий, А. Н. |
| 2017 | Контроль качества подложек из сплава алюминия неразрушающим методом контактной разности потенциалов | Шаронов, Г. В.; Жарин, А. Л.; Тявловский, А. К.; Гасенкова, И. В.; Мухуров, Н. И. |
| 2022 | Контроль качества полупроводниковых материалов и приборных структур с использованием измерительной установки СКАН-2019 | Жарин, А. Л.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Воробей, Р. И.; Пантелеев, К. В.; Микитевич, В. А.; Пилипенко, В. А.; Петлицкий, А. Н. |