Logo BSU

Browsing by Author Наливайко, О. Ю.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я

or enter first few letters:  
Showing results 1 to 20 of 24  next >
PreviewIssue DateTitleAuthor(s)
2014Влияние водородной обработки на структурные свойства пленок Si / SiGe, выращенных методом химического осаждения из газовой фазы при низком давленииНовиков, А. Г.; Зайков, В. А.; Прокопьев, С. Л.; Наливайко, О. Ю.; Гайдук, П. И.
2011ВЛИЯНИЕ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕCКИЕ СВОЙСТВА МОП СТРУКТУР С НАНОКРИСТАЛЛАМИ GeНовиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю.
2018Влияние структуры знаков совмещения на их «читаемость» после эпитаксиального наращивания кремнияНаливайко, О. Ю.; Бахматова, Н. А.; Ковальчук, Н. C.; Турцевич, А. С.; Ратино, А. К.
2018Выращивание эпитаксиальных слоев кремния с использованием трихлорсиланаНаливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Рудницкий, К. В.; Шамплет, А. В.; Нагаев, И. А.
2008Использование вертикальных реакторов пониженного давления для осавдения пленок поликристаллического кремния, нитрида кремния и оксида кремнияНаливайко, О. Ю.; Сухан, В. В.; Плебанович, В. И.; Каленик, В. И.
2008Исследование влияния условии осаждения на структуру и морфологические свойства слоев поликристаллического кремния, легированного в процессе роста кислородомТурцевич, А. С.; Наливайко, О. Ю.; Гайдук, П. И.; Лепешкевич, Г. В.
2017Исследование начальных стадий роста пленок Si1-хGeх в горизонтальном реакторе пониженного давленияНаливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Лепешкевич, Г. В.; Жигулин, Д. В.; Наливайко, В. О.
2015Исследование начальных стадий роста пленок германия в горизонтальном реакторе пониженного давления.Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Лепешкевич, Г. В.; Жигулин, Д. В.
2018Исследование процессов формирования и электрофизических свойств гетероструктур PtSi/poly-Si для разработки на их основе микроболометров : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель П. И. ГайдукГайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю.; Зайков, В. А.
2013Морфология и электрофизические свойства структур PtSi/Si, сформированных на аморфном кремнииНаливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Чиж, К. В.; Резник, В. Я.; Юрьев, В. А.; Новиков, А.; Гайдук, П. И.
2016Оптимизация процесса химико-механической полировки вольфрама для формирования межсоединений субмикронных ИМСНаливайко, О. Ю.; Роговой, В. И.; Турцевич, А. С.
2010ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ ПОЛИ-Ge НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫЗайков, В. А.; Гайдук, П. И.; Карпович, В. Б.; Наливайко, О. Ю.
2018Осаждение пленок оксида кремния с использованием плазменной активации при производстве интегральных схемНаливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Лепешкевич, Г. В.; Пшеничный, E. Н.
Nov-2019Осаждение пленок поликристаллического кремния, легированного в процессе роста фосфором, в вертикальном реакторе пониженного давленияНаливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Завадский, С. М.; Жигулин, Д. В.
2010Разработать и исследовать структуры Si/SiO2/Si с двумерными массивами нанокристаллов Ge для энергонезависимых элементов памяти : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Гайдук, П. И.Гайдук, П. И.; Пшеничный, Е. Н.; Наливайко, О. Ю.; Зайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Прокопьев, С. Л.; Дорошкевич, М. А.; Терентьева, О. В.; Пилько, В. В.; Камышан, А. С.; Ивлев, Г. Д.; Гацкевич, Е. И.; Раткевич, С. В.; Борисевич, В. М.; Васильев, Ю. Б.; Рудницкий, К. В.; Лысюк, А. А.; Лепешкевич, Г. В.; Осипов, В. Е.; Чигирь, Г. Г.; Простов, И. В.; Заборовский, Г. А.; Латушко, А. А.; Яцко, К. В.
2013Разработка и исследование процессов выращивания кремний-германиевых гетероструктур для создания полупроводниковых приборов : отчет о научно- исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель П. И. ГайдукГайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Ивлев, Г. Д.; Зайков, В. А.; Прокопьев, С. Л.; Пархоменко, И. Н.; Шевцова, В. И.; Антонович, M. Л.; Наливайко, О. Ю.; Рудницкий, К. В.; Пшеничный, Е. Н.; Лепешкевич, Г. В.; Прокофьев, В. М.
2008Структура и фазовый состав тонких пленок SiGe сплавов, полученных методом газофазного осаждения при пониженном давленииЗайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю.; Гайдук, П. И.; Борисевич, В. М.
2010СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ ПОЛИ-Ge ПОСЛЕ ИМПЛАНТАЦИИ И ПОСЛЕДУЮЩЕГО ОТЖИГАЗайков, В. А.; Гайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Прокопьев, С. Л.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н.
2008Структурные и электрофизические свойства тонких Si(1-x)Ge(x) пленок после имплантации В+ и последующего отжигаГайдук, П. И.; Гринько, С. Н.; Зайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н.
2016Формирование межкомпонентной изоляции канавками, заполненными диэлектрикомНаливайко, О. Ю.; Роговой, В. И.; Турцевич, А. С.; Кисель, А. М.