Browsing by Author Шамплет, А. В.
Showing results 1 to 1 of 1
Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|---|
2018 | Выращивание эпитаксиальных слоев кремния с использованием трихлорсилана | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Рудницкий, К. В.; Шамплет, А. В.; Нагаев, И. А. |