Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/100100
Title: Растворение монокристаллов кремния в щелочных травителях на основе водных растворов КОН
Authors: Почуйко, Алена Сергеевна
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
Issue Date: 31-Jul-2014
Abstract: 50 стр., 18 рис., 45 ист. лит. Ключевые слова: кремний, химическое растворение, скорость травления, морфология поверхности, гидроксид калия. Данная работа посвящена изучению влияния додецилсульфата натрия (ДДС) и цетилтриметиламмоний бромида(ЦТАБ) на формирование микро- /наноморфологии поверхности Si (001) в водных растворах КОН низких концентраций при различных температурах растворения.Проанализировано влияние концентраций КОН, ДДС, ЦТАБ на морфологию поверхности кремния. Изучены кинетические закономерности растворения поверхности Si (001). Определена энергия активации процесса растворения. Установлено, что увеличение температуры приводит к увеличению скорости реакции, а также существенно влияет на морфологию поверхности.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/100100
Appears in Collections:Химия (научно-производственная деятельность). 2014

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pochuiko_abstract.pdf81,79 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.