Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/10150
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКомаров, Ф. Ф.-
dc.contributor.authorКомаров, А. Ф.-
dc.contributor.authorМиронов, А. М.-
dc.contributor.authorЗаяц, Г. М.-
dc.contributor.authorСолодуха, В. А.-
dc.contributor.authorМакаревич, Ю. В.-
dc.contributor.authorМискевич, С. А.-
dc.date.accessioned2012-05-28T08:37:31Z-
dc.date.available2012-05-28T08:37:31Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationМеждународный конгресс по информатике: информационные системы и технологии: материалы международного научного конгресса 31 окт. – 3 нояб. 2011 г. : в 2 ч. Ч. 1. – Минск: БГУ, 2011. – C . 453-458.ru
dc.identifier.isbn978-985-518-563-6-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/10150-
dc.descriptionСекция 5. Компьютерные технологии в приборостроенииru
dc.description.abstractРазработан программный комплекс для моделирования процессов низкоэнергетической имплантации легирующих примесей в кремниевые структуры и постимплантационного быстрого термического отжига (БТО) этих структур. Проведен учет влияния на диффузию имплантированной примеси электрического поля, внутренних напряжений, связывания собственных междоузельных атомов кремния атомами углерода. Программное обеспечение интегрировано в среду программного комплекса ATHENA фирмы Silvaco Inc., что позволяет также проводить расчет электрофизических свойств субмикронных МОП-транзисторов.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherБГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleМоделирование технологических процессов субмикронной электроникиru
dc.typeArticleru
Appears in Collections:2011. Международный конгресс по информатике : информационные системы и технологии. Часть 1.

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
pages from Конференция_1. 453-458pdf.pdf342,75 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.