Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/104598
Title: Программа "Тонкопленочные сенсоры"
Authors: Савицкий, Александр Александрович
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение
Issue Date: 2011
Abstract: Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. При изложении курса основной упор делается на физико-химическое рассмотрение процессов взаимодействия потоков частиц с поверхностью кремниевой подложки, использование понятия «константа равновесия» процессов высокотемпературного разложения силана и других соединений, используемых при производстве микросистем. Знание физико-химических основ процессов эпитаксии позволит будущим специалистам легко освоить современное производство микросхем, а также воспринять новые нанотехнологические схемы производства.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/104598
Appears in Collections:Архив (Химия)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Савицкий - Тонкопленочные сенсоры.pdf294,16 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.