Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/108425
Заглавие документа: Оптические и электрофизические свойства нестехиометрического нитрида кремния
Авторы: Комаров, Ф. Ф.
Пархоменко, И. Н.
Романов, И. А.
Власукова, Л. А.
Мильчанин, О. В.
Тогамбаева, А. К.
Тоганбаева, Л. К.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2014
Издатель: Издательский центр БГУ
Библиографическое описание источника: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Аннотация: Приводятся сравнительные характеристики люминесцентных и электрофизических свойств пленок SiNx, обогащенных кремнием и азотом. Пленки SiNx разного стехиометрического состава осаждались на подложку Si n-типа с кристаллографической ориентацией (100) методом плазменно-стимулированного газофазного осаждения из смеси моносилана (SiH4) и аммиака (NH3) при температуре 300 °С. Установлено, что для исходных структур интенсивность фотолюминесценции выше, а проводимость ниже в случае пленки нитрида кремния с избытком кремния. Спектры ФЛ отожженных структур сравнимы по интенсивности и имеют одинаковую форму. Для объяснения механизмов проводимости и фотолюминесценции была использована модель дефектных состояний.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/108425
ISBN: 978-985-553-234-8
Финансовая поддержка: Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Располагается в коллекциях:2014. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
p.192-194.pdf273,71 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



PlumX

Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.