Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/108425
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКомаров, Ф. Ф.-
dc.contributor.authorПархоменко, И. Н.-
dc.contributor.authorРоманов, И. А.-
dc.contributor.authorВласукова, Л. А.-
dc.contributor.authorМильчанин, О. В.-
dc.contributor.authorТогамбаева, А. К.-
dc.contributor.authorТоганбаева, Л. К.-
dc.date.accessioned2015-01-28T14:30:31Z-
dc.date.available2015-01-28T14:30:31Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationМатериалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.ru
dc.identifier.isbn978-985-553-234-8-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/108425-
dc.description.abstractПриводятся сравнительные характеристики люминесцентных и электрофизических свойств пленок SiNx, обогащенных кремнием и азотом. Пленки SiNx разного стехиометрического состава осаждались на подложку Si n-типа с кристаллографической ориентацией (100) методом плазменно-стимулированного газофазного осаждения из смеси моносилана (SiH4) и аммиака (NH3) при температуре 300 °С. Установлено, что для исходных структур интенсивность фотолюминесценции выше, а проводимость ниже в случае пленки нитрида кремния с избытком кремния. Спектры ФЛ отожженных структур сравнимы по интенсивности и имеют одинаковую форму. Для объяснения механизмов проводимости и фотолюминесценции была использована модель дефектных состояний.ru
dc.description.sponsorshipБелорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследованийru
dc.language.isoruru
dc.publisherИздательский центр БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleОптические и электрофизические свойства нестехиометрического нитрида кремнияru
dc.typeArticleru
Appears in Collections:2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
p.192-194.pdf273,71 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.