Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120281| Title: | ВОЗДЕЙСТВИЕ НАНОИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА ТОНКИЕ ПЛЕНКИ TiAlN/Si |
| Authors: | Ивлев, Г. Д. Зайков, В. А. Климович, И. М. Людчик, О. Р. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2015 |
| Abstract: | Методом оптической микроскопии исследовано воздействие интенсивного наносекундного (70 нс) излучения рубинового лазера (λ = 0.69 мкм) на состояние тонкоплѐночной системы TiAlN/Si. Получены данные о динамике отражательной способности зон лазерной обработки на длине волны зондирующего излучения 1.06 мкм. Исследуемые образцы приготавливались методом магнетронного распыления мишени с сопутствующим формированием тонкой (0.5 мкм) плѐнки TiAlN на кремниевой подложке и облучались при плотностях энергии 0.5-1.6 Дж/см2. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120281 |
| Appears in Collections: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ивлев-2.pdf | 746,11 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.