Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/133767| Title: | Исследование начальных стадий роста пленок германия в горизонтальном реакторе пониженного давления. |
| Authors: | Наливайко, О. Ю. Турцевич, А. С. Лепешкевич, Г. В. Жигулин, Д. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Минск : РИВШ |
| Citation: | Квантовая электроника: Материалы X Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 9–13 нояб. 2015 г. – Минск, 2015. – С. 115-116. |
| Abstract: | Установлены условия процесса осаждения Ge, которые позволяют варьировать размер зерна и шероховатость пленок Ge. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/133767 |
| ISBN: | 978-985-500-903-1 |
| Appears in Collections: | 2015. Квантовая электроника |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 115_Nalivaiko.pdf | 476,44 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.