Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/152024
Title: Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа
Authors: Федотов, А. К.
Жуковский, П. В.
Федотова, Ю. А.
Колтунович, Т.
Максименко, А. А.
Ларькин, А. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: Feb-2014
Publisher: ГКНТ РБ. Национальный центр интеллектуальной собственности
Citation: Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа: Патент на изобретение / Федотов А.К., Жуковский П.В., Федотова Ю.А., Колтунович Т., Максименко А.А., Ларькин А.В. - Официальный бюллетень. - 2014. - № 1. - C. 101
Abstract: Способ получения тонкой пленки с импедансом индуктивного типа, заключающийся в испарении мишени из металла и диэлектрика с последующим осаждением на подложку.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/152024
Appears in Collections:Архив статей

Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.