Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/160509| Title: | Система управления газовым напуском для магнетронных технологий нанесения пленочных покрытий |
| Authors: | Бурмаков, А. П. Кулешов, В. Н. Столяров, А. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ОБЩЕСТВЕННЫЕ НАУКИ::Информатика ЭБ БГУ::ОБЩЕСТВЕННЫЕ НАУКИ::Информатика |
| Issue Date: | 25-Oct-2016 |
| Publisher: | Минск: БГУ |
| Abstract: | На факультете радиофизики и компьютерных технологий БГУ разработана система управления процессом реактивного магнетронного распыления. Задача этой разработки – упростить создание систем управления процессом реактивного магнетронного распыления. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/160509 |
| ISBN: | 978-985-566-369-1 |
| Appears in Collections: | Секция 9. КОМПЬЮТЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Бурмаков_Кулешов_Столяров.pdf | 388,07 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.