Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/163934
Title: Моделированиe технологии формирования НЭМС-конструкций
Authors: Юхневич, А. В.
Майер, И. А.
Усенко, А. Е.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2016
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 134–137.
Abstract: В данной статье рассмотрен очередной этап в разработке таких перспективных растворителей, основанный на использовании атомного моделирования процесса, ориентированный на применение в кремниевой микро-/нано-технологии.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/163934
ISBN: 978-985-553-403-8
Sponsorship: Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований.
Appears in Collections:2016. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
С.134-137_Юхневич.pdf430,76 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.