Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/165416
Заглавие документа: Влияние режимов реактивного магнетронного нанесения на структурные и электрофизические свойства покрытий Ti-Al-N
Авторы: Климович, И. М.
Зайков, В. А.
Семенева, Н. В.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2016
Издатель: Минск : Изд. центр БГУ
Библиографическое описание источника: Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 248–251.
Аннотация: Задачей данного исследования является выявление зависимости удельного сопротивления и распределения размеров структурных элементов Ti–Al–N покрытий от температуры и потенциала смещения на подложке во время осаждения методом реактивного магнетронного распыления.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/165416
ISBN: 978-985-553-403-8
Финансовая поддержка: Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований.
Располагается в коллекциях:2016. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
С.248-251_Климович.pdf447,51 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



PlumX

Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.