Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/178737
Title: Оптические свойства пленок нитрида кремния, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Authors: Романов, И. А.
Климович, И. М.
Комаров, Ф. Ф.
Зайков, В. А.
Пархоменко, И. Н.
Крекотень, Н. А.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2017
Citation: Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния : материалы четвертой Междунар. науч.-практ. конф., Минск, 11–12 мая 2017 г. / М-во образования Респ. Беларусь, НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А. Н. Севченко» Белорус. гос. ун-та; редкол.: В. И. Попечиц (гл. ред.), Ю. И. Дудчик, Г. А. Сенкевич. – Минск, 2017. – С. 284-286.
Abstract: В работе представлены результаты исследований оптических свойств пленок нитрида кремния нестехиометрического состава, полученных методом реактивного магнетронного распыления в импульсном режиме высокой мощности при постоянном токе разряда равном 1,5 А. Установлено, что увеличение парциального давления азота приводит к уменьшению показателя преломления и скорости осаждения нитридного слоя. Полученные пленки обладают фотолюминесценцией в широкой области видимого спектра с максимумом в диапазоне 450 - 500 нм
Description: Секция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/178737
Appears in Collections:2017. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
284-286.pdf421,53 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.