Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/182398
Title: Влияние термического и лазерного отжига на люминесценцию тонких пленок нитрида кремния с избытком кремния
Other Titles: Effect of thermal and laser annealing on Si-rich silicon nitride films photoluminescence / I.N. Parkhomenko, I.A. Romanov, F.V. Potemkin, D.V. Shuleyko, F.V. Kashaev, Tomasz Koltunowicz
Authors: Пархоменко, И. Н.
Романов, И. А.
Потемкин, Ф. В.
Шулейко, Д. В.
Кашаев, Ф. В.
Koltunowicz, T.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2017
Publisher: Минск: Изд. центр БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 266-268.
Abstract: Представлены результаты по воздействию термической и лазерной обработки на фотолюминесценцию тонких пленок нитрида кремния с избытком кремния 5-7 %, полученных методом плазмохимического газофазного осаждения. Термический отжиг проводился при температурах 900-1100°C в течение часа. Лазерный отжиг осуществлялся с помощью наносекундных импульсов излучения рубинового лазера с плотностью энергий в диапазоне 0.45-1.4 Дж/см2. Показано, что импульсный лазерный отжиг с плотностью энергии 1.1 Дж/см2 приводит к увеличению интенсивности фотолюминесценции на порядок и сдвигу максимума ФЛ в синюю область, в то время как после равновесного изотермического отжига наблюдается сдвиг максимума ФЛ в красную область и снижение интенсивности свечения = The effect of thermal and laser annealing on photoluminescence (PL) of PECVD silicon nitride films with Si excess 5−7 % has been investigated. The thermal treatment was carried out at 900–1100 °C for hour. The laser annealing was realised by nanosecond impulses of ruby laser at density of energy in the range of 0.45–1.4 J/cm2. It was shown, impulse laser annealing with density of energy 1.1 J/cm2 results in increase of PL intensity and blue shift of PL maxima, while thermal annealing results in quenching luminescence and red shift of PL maxima
Description: Секция 3. Модификация свойств материалов
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/182398
ISBN: 978-985-553-446-5
Appears in Collections:2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
266-268.pdf379,17 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.