Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/203544
Title: Исследование процессов формирования и электрофизических свойств гетероструктур PtSi/poly-Si для разработки на их основе микроболометров : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель П. И. Гайдук
Authors: Гайдук, П. И.
Новиков, А. Г.
Наливайко, О. Ю.
Зайков, В. А.
Keywords: ЭБ БГУ::ОБЩЕСТВЕННЫЕ НАУКИ::Информатика
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Кибернетика
Issue Date: 2018
Publisher: Минск : БГУ
Abstract: Объектом исследования являлись гетероструктуры PtSi/a-Si и PtSi/poly-Si, выращенные и легированные различными методами на подложках SiO2/Si3N4/Si, структуры с плазмонными нанопустотами, а также диодные структуры на основе PtSi/Si для мембранных микроболометрических матриц. Цель работы - разработка фундаментальных основ технологии формирования и исследование структурных и электрофизических свойств барьеров (диодов) Шоттки, сформированных на аморфном и поликристаллическом кремнии для повышения эффективности микроболометрических матриц в мембранном исполнении. Основные технологические методы и методы исследований: химическое осаждение из газовой фазы, молекулярно-лучевая эпитаксия, магнетронное распыление, быстрый термический отжиг, селективное травление, просвечивающая и растровая электронная микроскопия, фотопроводимость, оптическая спектрометрия и др. В результате проведенной работы разработаны режимы формирования барьерных структур и микроболометрических матриц на их основе; на подложках SiO2/Si3N4/Si изготовлены гетероструктуры PtSi/a-Si и PtSi/poly-Si, слои с нанопустотами, а также диоды PtSi/Si в мембранном исполнении; исследованы структурные, оптические и электрические характеристики слоев аморфного и поли-кремния, силицидов платины, а также структур и диодов на их основе в зависимости от режимов формирования и обработки. Результаты работы могут быть использованы при разработке приборов оптоэлектроники и, в частности, мембранных микроболометрических матриц. Использование нано-пустот в таких приборах позволит повысить их эффективность за счет плазмонных эффектов. Результаты работы будут использованы при подготовке НИОКР по разработке микроболометрических матриц, совместимых с интегральной технологией. Такие матрицы применяются в качестве сенсорных датчиков, устройств контроля, а также в научных исследованиях.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/203544
Registration number: № госрегистрации 20163109
Appears in Collections:Отчеты 2018

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
гайдук.doc15,37 MBMicrosoft WordView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.