Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/203735
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorЯнковский, Ю. Н.-
dc.date.accessioned2018-08-21T08:45:13Z-
dc.date.available2018-08-21T08:45:13Z-
dc.date.issued2001-
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом: материалы IV Междунар. науч. конф., 3-5 окт. 2001 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2001. — С. 11-13.ru
dc.identifier.isbn985-445-236-0-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/203735-
dc.description.abstractМетодами эффекта Холла и ИК поглощения исследованы процессы дефеістообразованйя при высокоэнергетичной (1 МэВ/а.е.м) имплантации кремния ионами бора, кислорода и аргона. За слоем внедрения обнаружены точечные радиационные дефекты, образование которых обусловлено диффузией в подложку генерируемых облучением компонентов пар Френкеля. При увеличении массы бомбардирующих ионов эффективность процесса формирования указанных центров в "запробежной" области падает вследствие возрастания концентрации сложных структурных нарушений, являющихся ловушками для вакансий и собственных междоузельных атомов.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleДефектообразование в кремнии при высокоэнергетичной ионной имплантацииru
dc.title.alternativeRadiation defects formation in silicon at high energy implantation / D. l. Brinkevich, V. S. Prosolovich, Yu. N. Yankovskiru
dc.typeconference paperru
dc.description.alternativeDefects formation processes at high energy implantation of silicon were studied by Hall effect and IR absorption methods. Point radiation defects formed at the interstitial-vacancy pair diffusion into the substrate were detected outside the ion-implantation layer. Effectiveness of this center fomnation at implanted ion mass increasing were decrease because of the interstitial and vacancy traps concentration increasing.ru
Appears in Collections:2001. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
11-13.pdf700,5 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.