Изменение адгезии и трибологических свойств покрытий TiN и Tі при осаждении их на подложки, подвергнутые ионной имплантации

Abstract

Показано, что предварительная имплантация ионами аргона стали У8А приводит к увеличению адгезии к стальной подложке формируемых на ней методом катодно-дугового плазменного осаждения покрытий нитрида титана и чистого титана. Для покрытия TiN в случае использования максимальной дозы предварительной имплантации, равной 1-1017 ион/см2, величина критической нагрузки, при которой начинается отслаивание покрытия, составляет 11.3 Н, что в два раза больше, чем для покрытия, осажденного на неимплантированную сталь. При фрикционных испытаниях покрытий TiN и ТІ, осахеденных на имплантированную ионами аргона сталь, обнаружено повышение их стойкости к истиранию - до 80% для покрытий из чистого титана; а также уменьшение на 25% коэффициента трения для покрытий TiN. В случае покрытий нитрида титана наряду с изменением трибологических свойств наблюдается также усиление текстуры (220) с ростом дозы предварительной имплантации подложки.