Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/206637
Title: | Технология получения термочувствительных поликристаллических алмазных плёнок в ВЧ разряде низкого давления |
Other Titles: | The technology of the termosensitive polycrystalline diamond films prepared by RF low-pressure discharge / N.N.Nikiforenko, A.A.Labuda, M .P.Samtsov |
Authors: | Никифоренко, Н. Н. Лабуда, А. А. Самцов, М. П. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 1999 |
Publisher: | Минск : БГУ |
Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом: Материалы III междунар. науч. конф., 6-8 окт. 1999 г., Минск: В 2 ч. Ч.2. — Мн.: БГУ, 1999. — С. 179-182. |
Abstract: | Описана высокочастотная вакуумно-плазменная установка и технология выращивания тонких алмазных поликристаллических плёнок глобулярной формы с хорошими термочувствительными свойствами. Рассмотрены особенности применения спектроскопии комбинационного рассеяния света для контроля микроструктуры и фазового состава получаемых плёнок. |
Abstract (in another language): | The reliable high-frequency vacuum-plasma installation for diamond polycrystalline and diamond-like carbonic films synthesis was created. The process of film synthesis is carried out in the high-frequency of low pressure gas discharge in vapours of methanol, ethanol or acetone. The installation is characterised by low energy and vapours of a working liquid consumption. The technology of thin diamond polycrystalline films deposition (in globular form) with a high temperature factor from 0,5 up to 2,7 %/degree over the range of temperatures from -20 0C to +150 0C is developed. The main features of the Raman spectrum of the polycrystalline diamond thin films (200 - 500 nm) have been studied. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/206637 |
ISBN: | 985-445-237-9 |
Appears in Collections: | 1999. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
179-182.pdf | 3,57 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.