Влияние ионной имплантации на свойства покрытии TiN, TiC и Ti(NjC)

Abstract

Тугоплавкие соединения на основе переходных металлов с азотом, углеродом, бором и др. неметаллами обладают рядом ценных в научном и прикладном аспектах свойств, в том числе высокую твердостью, износостойкостью, жаропрочностью и т.п. Обобщение результатов исследований характеристик химических соединений позволило сформулировать следующую физико-химическую концепцию изменения свойств этих соединений [1-3]: изменение соотношения атомов «металл-неметалл», замещение одного сорта металлических или неметаллических атомов на другие, модификация свойств покрытий в результате воздействия на них пучками заряженных частиц. Полученные в рамках данной концепции сложные соединения системы Ti-N-C показывают корреляцию фазового состава и параметров кристаллической решетки с давлением реакционной смеси (ацетилен - азот). Однофазный карбонитрид титана показывает повышенную твердость, равную 36 ГПа, против 30 ГПа (TiC) и 20 ГПа (TiN).