Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/208376
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБурмаков, А. П.-
dc.contributor.authorКулешов, В. Н.-
dc.contributor.authorЧёрный, В. Е.-
dc.date.accessioned2018-11-09T07:06:38Z-
dc.date.available2018-11-09T07:06:38Z-
dc.date.issued2003-
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 337-339.ru
dc.identifier.isbn985-445-236-0; 985-445-235-2-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/208376-
dc.description.abstractРассмотрены результаты исследования эмиссионного спектра плазмы магнетронного разряда в процессах нанесения пленок TiO2. Для исследований использован малогабаритный спектрометр модели SL40-2 с ПЗС-пинейкой 3648 пикселов и минимальным временем регистрации спектра 7 мс. Анализируются закономерности изменений в эмиссионных спектрах при изменении параметров проведения процесса и введении в рабочую газовую среду примесей воздуха, паров воды и паров масла. Рассмотрены возможности применения SL40-2 в составе системы управления расходом газов и одновременного контроля наличия примесей в рабочем газе. Определена величина минимального обнаружимого содержания примесей.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleКонтроль процесса магнетронного осаждения пленок TiO2 c помощью малогабаритного спектрометра SL40-2ru
dc.title.alternativeThe magnetron process control of the TiO2 layers deposition with the assistance of the compact spectrometer SL40-2 / A. Burmakov, V. Chorny, V. Kuleshovru
dc.typeconference paperru
dc.description.alternativeThe magnetron discharge emission spectrums in the process TiO2 film deposition have been considered. The compact spectrometer SL40-2 has been used for the research. The spectrometer has the CCD linear sensor with 3648 pixels. The minimal time of a spectrum registration by this spectrometer is 7 ms. The regularities of the emission spectrum changes have been analyzed when the process parameters were changed and the impurities (air, water vapor and oil vapor) were injected into the operating gaseous medium. The abilities of the SL40-2 application as the part of the gas flow control system and for the simultaneous monitoring of the impurity presence in the operating gas have been considered. The values of the minimal detectable impurity content have been determined.ru
Appears in Collections:2003. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
337-339.pdf2,96 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.