Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/212527
Title: Технология производства интегральных микросхем. УД-3451/уч.
Authors: Пилипенко, Владимир Александрович
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date: 2016
Publisher: Физический факультет, кафедра физики полупроводников и наноэлектроники.
Abstract: Программа учебной дисциплины «Технология производства интегральных микросхем» разработана для специализации 1-31 04 07-02 физика наноматериалов и нанотехнологий. Спецкурс посвящен вопросам теории и технологии создания сверхбольших интегральных схем (СБИС). Рассматриваются основные пути увеличения степени интеграции интегральных микросхем (ИМС), приводятся особенности планарной технологии. Рассматриваются основные технологические операции создания ИМС: подготовка поверхности кремниевых пластин, эпитаксиальное наращивание пленок кремния, ионное легирование кремния, литография, формирование металлизированных соединений. Большое внимание уделяется физическим основам технологии СБИС и в частности конструктивно-технологическим особенностям методов межкомпонентной изоляции активных и пассивных элементов микросхем. Приводятся основные уравнения, описывающие работу биполярного транзистора и позволяющие проводить расчет основных его характеристик.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/212527
Appears in Collections:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Пилипенко В.А. Технология производства ИМС.pdf415,27 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.