Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223275
Title: Эллипсометрические исследования поверхности кремния, облученного 6.8 МэВ протонами и 27.2 МэВ а-частицами
Authors: Дмитрук, Н. Л.
Кондратенко, О. С.
Кучинский, П. В.
Пинковская, М. Б.
Хиврич, В. И.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2007
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 30-31
Abstract: В работе приведены результаты изучения влияния 6.8 МэВ протонов и 27.2 МэВ а-частиц на оптические свойства поверхности механически и химически полированных монокристаллов Si. Методом многоугловой монохроматической эллипсометрии (Л = 632.8 нм) определены оптические параметры (показатель преломления п, коэффициент поглощения к и толщина d окисной пленки SiO2) на поверхности Si. Показано, что после облучения протонами потоками 10^15 и 10^17 см^-2 оптические константы приповерхностного слоя образцов, изначально дефектного из-за недостаточного химического травления после механической полировки, изменяются: п увеличивается, а к уменьшается. По мере облучения протонами толщина окисной пленки значительно уменьшается - реализуется "сухое травление" поверхности Si. Эти результаты свидетельствуют о модификации поверхности - происходит увеличение ее плотности и, соответственно, рост п. Если поверхность бездефектная, то после облучения наблюдается ее разрыхление, сопровождающееся уменьшением п с 3.80 до 2.85. При облучении а-частицами потоками 2.7*10^14 и 2.6*10^16 см^-2 отмеченные эффекты незначительны, что свидетельствует о неупругом взаимодействии а-частиц данной энергии с поверхностью монокристаллов Si.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/223275
ISBN: 978-985-476-530-3
Appears in Collections:2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
30-31.pdf457,39 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.