Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/25309
Title: Формирование рельефа поверхности (001) монокристаллического Si при травлении в водных растворах KOH с повышенным содержанием K2CO3
Authors: Усенко, Александра Евгеньевна
Юхневич, Анатолий Викторович
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
Issue Date: 2011
Publisher: БГУ
Citation: Свиридовские чтения: сб.ст. Вып.7/отв. ред. Т.Н.Воробьева
Series/Report no.: 7
Abstract: В данной работе исследовали влияние повышенного содержания K2CO3 (основной примеси) в водных растворах KOH с концентрацией 12 и 14 моль/дм3 на особенности формирования микроповерхностей Si вблизи вершины выпуклого прямого угла маски со сторонами типа <110> и <100> при температуре травления 60—80 °С. Установлен характер изменения кристаллографической ориентации, рельефа и скорости травления таких поверхностей от содержания K2CO3 в растворе KOH. Показано, что содержание K2CO3 свыше 0,05 моль/дм3 приводит к существенному изменению кристаллографической ориентации микроповерхностей, самоформирующихся под прямым углом типа <110> при растворении в изученных экспериментальных условиях. Следовательно, влияние содержания K2CO3 в KOH необходимо учитывать в технологии изготовления современных кремниевых микро- и наноприборов методом анизотропного маскированного травления.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/25309
Appears in Collections:2011. Свиридовские чтения. Выпуск 7

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
pages from Svirid cht_7__+9а.pdf936,71 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.