Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/257329
Title: Магнетронно-лазерное формирование пленочных структур с наноразмерными металлическими частицами
Other Titles: Laser asissted magnetron formation of film structures with nanosized metal particles / A. P. Burmakov, V. N. Kuleshov, I. N. Parkhomenko
Authors: Бурмаков, А. П.
Кулешов, В. Н.
Пархоменко, И. Н.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2020
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники : материалы IX Междунар. науч. конф., Минск, 14–16 окт. 2020 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2020. – С. 296-300.
Abstract: Представлен краткий анализ применения комбинированной магнетронно-лазерной технологии для формирования пленочных покрытий. Рассматривается методика формирования покрытий типа наночастицы Ti или Ag в диэлектрической матрице оксида титана. Обсуждаются результаты авторских работ по нанесению таких покрытий магнетронно-лазерной технологией, особенности образования комбинированного потока, структура и оптические характеристики покрытий
Abstract (in another language): A brief analysis of the application of the combined magnetron-laser technology for the formation of film coatings is presented. The technique of the formation of coatings such as Ti or Ag nanoparticles in dielectric titanium oxide matrix is considered. The results of the author's work on the deposition of such coatings by laser assisted magnetron technology, the features of the formation of combined flow, the structure and optical characteristics of the coatings are discussed
Description: Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/257329
ISBN: 978-985-881-073-3
Appears in Collections:2020. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
296-300.pdf408,83 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.