Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/270580
Заглавие документа: Разработка, изготовление, моделирование и анализ характеристик тестовых структур на основе SiGe : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Л. Ф. Макаренко
Авторы: Макаренко, Л. Ф.
Казючиц, Н. М.
Казючиц, В. Н.
Левчук, Е. А.
Тема: ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Металлургия
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленность
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Энергетика
Дата публикации: 2021
Издатель: Минск : БГУ
Аннотация: Объектами исследований являются n+–p- и p+–n-структуры на основе кремния и кремний-германиевых сплавов, облученные электронами и альфа-частицами. Целями проекта являются определение электрических и атомных свойств радиационных дефектов, образующихся после облучения указанными видами частиц, нахождение взаимосвязи между параметрами исходных материалов, технологических процессов изготовления приборных структур и скоростью образования и устойчивостью радиационных дефектов в структурах на основе кремния и кремний-германиевых сплавов, а также для разработки моделей, которые позволят интерпретировать экспериментальные данные по взаимодействию электронной подсистемы кристалла с радиационными дефектаими. В результате исследований в рамках НИР получены новые экспериментальные данные о свойствах дефектов междоузельного типа в n+–p-структурах на основе кремния и кремний-германиевых сплавов, облученных электронами и ионами гелия. Проведены исследования влияния различных термических обработок на содержание радиационно-индуцированных дефектов, связанных с бором и кислородом. Определены температуры их отжига. Установлено, что легирование германием не влияет на энергию активации отжига бор-кислородного комплекса. Показано, что более эффективным способом восстановления концентрации носителей заряда по сравнению с термическим отжигом является инжекционный отжиг.
URI документа: https://elib.bsu.by/handle/123456789/270580
Располагается в коллекциях:Отчеты 2021

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Отчет 20192664 Макаренко.doc4,25 MBMicrosoft WordОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



PlumX

Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.