Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/270580
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorМакаренко, Л. Ф.-
dc.contributor.authorКазючиц, Н. М.-
dc.contributor.authorКазючиц, В. Н.-
dc.contributor.authorЛевчук, Е. А.-
dc.date.accessioned2021-10-21T08:42:10Z-
dc.date.available2021-10-21T08:42:10Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/270580-
dc.description.abstractОбъектами исследований являются n+–p- и p+–n-структуры на основе кремния и кремний-германиевых сплавов, облученные электронами и альфа-частицами. Целями проекта являются определение электрических и атомных свойств радиационных дефектов, образующихся после облучения указанными видами частиц, нахождение взаимосвязи между параметрами исходных материалов, технологических процессов изготовления приборных структур и скоростью образования и устойчивостью радиационных дефектов в структурах на основе кремния и кремний-германиевых сплавов, а также для разработки моделей, которые позволят интерпретировать экспериментальные данные по взаимодействию электронной подсистемы кристалла с радиационными дефектаими. В результате исследований в рамках НИР получены новые экспериментальные данные о свойствах дефектов междоузельного типа в n+–p-структурах на основе кремния и кремний-германиевых сплавов, облученных электронами и ионами гелия. Проведены исследования влияния различных термических обработок на содержание радиационно-индуцированных дефектов, связанных с бором и кислородом. Определены температуры их отжига. Установлено, что легирование германием не влияет на энергию активации отжига бор-кислородного комплекса. Показано, что более эффективным способом восстановления концентрации носителей заряда по сравнению с термическим отжигом является инжекционный отжиг.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Металлургияru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химияru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленностьru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроениеru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Энергетикаru
dc.titleРазработка, изготовление, моделирование и анализ характеристик тестовых структур на основе SiGe : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Л. Ф. Макаренкоru
dc.typereportru
dc.rights.licenseCC BY 4.0ru
Appears in Collections:Отчеты 2021

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Отчет 20192664 Макаренко.doc4,25 MBMicrosoft WordView/Open
Show simple item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.