Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/272439
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСавицкий, Александр Александрович-
dc.date.accessioned2021-12-02T11:50:33Z-
dc.date.available2021-12-02T11:50:33Z-
dc.date.issued2021-06-30-
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/272439-
dc.description.abstractЦелью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности.ru
dc.language.isoruru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химияru
dc.titleФизическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальностей: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности:1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность). № УД-10042\учru
dc.typesyllabusru
dc.rights.licenseCC BY 4.0ru
Appears in Collections:Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Prog_Savitski_21.PDF801,62 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.