Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/28237
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.date.accessioned2013-01-08T07:52:54Z-
dc.date.available2013-01-08T07:52:54Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011.ru
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/28237-
dc.description.abstractИсследовано изменение прочностных характеристик в процессе быстрой термической обработки пластин кремния, имплантированных ионами бора и фосфора. Имплантация способствует приповерхностному упрочнению монокристал- лов кремния. Показано, что быстрый термический отжиг приводит к резкому снижению микротвердости в приповерхно- стной области монокристалла на глубинах до 1 мкм и увеличению трещиностойкости (росту К1С и γ) при малых нагруз- ках. Полученные экспериментальные результаты объяснены с учетом генерации вакансий в процессе быстрого терми- ческого отжига. Обсуждается механизм приповерхностного радиационного упрочнения кремния.ru
dc.language.isoruru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleМИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ БОРА И ФОСФОРАru
dc.typeconference paperru
Appears in Collections:2011. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Вабищевич-Просолович-1.pdf250,19 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.