Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/28291
Title: ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ ТОНКИХ ПЛЕНОК ГЕРМАНИЯ НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫХ ГАЗОФАЗНЫМ ХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ
Authors: Зайков, В. А.
Гайдук, П. И.
Новиков, А. Г.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2011
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011.
Abstract: Рассмотрено влияние импульсного лазерного отжига на структурные и морфологические свойства слоев Ge на кремниевых подложках, выращенных химическим осаждением из газовой фазы. Методом растровой электронной мик- роскопии установлены режимы лазерной обработки, при которых происходит планаризация поверхности слоев Ge, а также их полное проплавление по толщине.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/28291
Appears in Collections:2011. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Зайков -испр.pdf623,35 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.