Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/28291
Заглавие документа: ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ ТОНКИХ ПЛЕНОК ГЕРМАНИЯ НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫХ ГАЗОФАЗНЫМ ХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ
Авторы: Зайков, В. А.
Гайдук, П. И.
Новиков, А. Г.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2011
Библиографическое описание источника: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011.
Аннотация: Рассмотрено влияние импульсного лазерного отжига на структурные и морфологические свойства слоев Ge на кремниевых подложках, выращенных химическим осаждением из газовой фазы. Методом растровой электронной мик- роскопии установлены режимы лазерной обработки, при которых происходит планаризация поверхности слоев Ge, а также их полное проплавление по толщине.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/28291
Располагается в коллекциях:2011. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Зайков -испр.pdf623,35 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



PlumX

Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.