Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/305410| Title: | Влияние добавок кремния на электрофизические и оптические свойства тонкопленочных покрытий TiAlN |
| Other Titles: | The influence of silicon additives on the electrical and optical properties of thin film TiAlN coatings / V. A. Zaikov, A. A. Mikhalenok, S. V. Konstantinov, F. F. Komarov, I. V. Chizhov, A. R. Luchenok |
| Authors: | Зайков, В. А. Михалёнок, А. А. Константинов, С. В. Комаров, Ф. Ф. Чижов, И. В. Лученок, А. Р. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Квантовая электроника : материалы XIV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 21-23 нояб. 2023 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: М. М. Кугейко (гл. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2023. – С. 147-150. |
| Abstract: | Методом сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) изучены свойства и состав нитридных покрытий TiAlN с добавками кремния (Si). Четырёхзондовым методом проведены измерения поверхностного R и удельного ρ сопротивления. Cпектральный коэффициент отражения R определялся спектрофотометрированием в широком диапазоне длин волн λ = 200 ÷ 2500 нм. Зависимость спектрального коэффициента отражения демонстрирует металлический тип проводимости, который хорошо описывается теорией Друде - Лоренца |
| Abstract (in another language): | The properties and composition of TiAlN nitride coatings with silicon (Si) additives have been studied by scanning electron microscopy (SEM). Measurements of surface R and specific ρ resistivity were carried out by the four-probe method. The spectral reflection coefficient R in a wide wavelength range λ = 200 ÷ 2500 nm was determined by spectrophotometric methods. The dependence of the spectral reflection coefficient demonstrates the metallic type of conductivity, which is well described by the Drude - Lorentz theory |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/305410 |
| ISBN: | 978-985-881-530-1 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2023. Квантовая электроника |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 147-150.pdf | 1,61 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.