Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/323266
Title: Исследование процессов напыления нанопленок BaZr x Ti 1–x O 3 при лазерном распылении сдвоенными импульсами керамической мишени BaZr 0,2 Ti 0,8 O3 в атмосфере воздуха
Authors: Ермалицкая, К. Ф.
Красноперов, Н. Н.
Зажогин, А. П.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2024
Citation: Материалы ХIV международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике». Нальчик. Россия. 3-7 июня 2024 г. – С. 214-218
Abstract: Изучены возможности получения нанопленочных сегнетоэлектриче- ских материалов методом абляции сдвоенными лазерными импульсами ми- шени, состоящей из керамики BaZr 0,2 Ti 0,8 O 3 на подложку из фольгирован- ного медью стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены исследо- вания влияния количества импульсов и угла воздействия излучения на ми- шень на процессы при целенаправленном формирование компонентного и зарядового состава лазерного факела направляемого на подложку и каче- ство пленки.
Abstract (in another language): The possibilities of producing nanofilm ferroelectric materials by ablation with dual laser pulses of a target consisting of BaZr 0.2 Ti 0.8 O3 ceramics onto a substrate of copper foil fiberglass in an air atmosphere have been studied. Stud- ies have been carried out of the influence of the number of pulses and the angle of exposure of the radiation on the target on the processes during the targeted formation of the component and charge composition of the laser torch directed at the substrate and the quality of the film
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/323266
Licence: info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
Appears in Collections:Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pages from book2024_214-218.pdf792,5 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.