Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/323267| Title: | Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов титана при лазерном распылении титана в атмосфере воздуха |
| Other Titles: | Research of the processes of spraying gas-sensitive nanofilm resistors from titanium oxides during laser spraying of titanium in the air atmosphere |
| Authors: | Ермалицкая, К. Ф. Воропай, Е. С. Красноперов, Н. Н. Зажогин, А. П. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2024 |
| Citation: | Материалы ХIV международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике». Нальчик. Россия. 3-7 июня 2024 г. – С.219-223. |
| Abstract: | Изучены возможности получения газочувствительных нанопленоч- ных резисторов из оксидов титана, с достаточно хорошими механически- ми и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами титановой мишени на подложку из фольгирован- ного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены исследования влияния количества импульсов и угла воздействия излучения на мишень на процессы при целенаправленном формирование компонентного и зарядового состава лазерного факела направляемого на подложку и качество пленки. |
| Abstract (in another language): | The possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm resistors from tita- nium oxides, with fairly good mechanical and sensitive characteristics, have been studied by ablation of a titanium target with dual laser pulses onto a foil- clad glass fiber laminate substrate in an air atmosphere. Studies have been car- ried out of the influence of the number of pulses and the angle of exposure of the radiation on the target on the processes during the targeted formation of the component and charge composition of the laser torch directed to the substrate and the quality of the film. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/323267 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Appears in Collections: | Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pages from book2024-219-223.pdf | 545,1 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.