Новое электронно-ионно-плазменное оборудование для модификации поверхности материалов и изделий

Abstract

Создание новых эффективных технологических процессов электронно-ионно-плазменной модификации поверхности материалов и изделий и расширение сферы их применений определяется развитием физики и техники генерации пучков заряженных частиц и потоков плазмы. В работе приведены примеры разработки и создания нового электрофизического оборудования (ионно-плазменных и электронно-пучковых автоматизированных установок) с параметрами, превосходящими известные, что позволяет реализовывать новые эффекты при воздействии пучков и плазмы на поверхности твердых тел.