Logo BSU

Search


Current filters:
Start a new search
Add filters:

Use filters to refine the search results.


Results 1-10 of 35 (Search time: 0.0 seconds).
Item hits:
PreviewIssue DateTitleAuthor(s)
2013Прочностные свойства монокристаллов кремния, имплантированных ионами с энергией 60 кэВВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.
2010СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ГАЗОФАЗНОЙ И ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИЕЙБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.
2010ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ОБЛУЧЕННОГО Si:GeБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Петров, В. В.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.
2012УПРОЧНЕНИЕ КРЕМНИЯ ВБЛИЗИ ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА SIO2/SIБринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Вабищевич, С. А.; Петлицкий, А. Н.; Просолович, В. С.; Простомолотов, А. И.
2011ОСОБЕННОСТИ ДИФФУЗИИ РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ ОТЖИГЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2014Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремнияВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Русакевич, Д. А.; Янковский, Ю. Н.
2014Модификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантацииБринкевич, Д. И.; Лукашевич, М. Г.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2013Дефектообразование в диазохинон-новолачном фоторезисте при ионной имплантацииБринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2010Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремнийБринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Волобуев, В. С.; Лукашевич, М. Г.; Просолович, В. С.; Оджаев, В. Б.
2013Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремнияПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н.