Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/6087
Title: Спектрофотометриический контроль параметров пленок борофосфоросиликатного стекла
Authors: Никифоренко, Н. Н.
Лабуда, А. А.
Юревич, П. Г.
Сидерко, А. А.
Кедич, П. А.
Issue Date: May-2008
Publisher: БГУ
Citation: Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика.– 2008. - № 2. – С. 46-49.
Abstract: The possibility to realize the spectrometric control over the basic parameters (thickness, uniformity, impurity refraction and concentration) of the silicon oxide films doped by phosphorous and boron is studied. Owing to the use of the specially developed highspeed computerized spectrophotometric system on the basis of the domestic S100 spectrometer, the film parameters may be controlled not only after but also in the process of its formation. It is determined that in the visible wavelength range a refractive index of the films is considerably dependent on the concentration of phosphorous, being insensitive to changes in the boron concentration. = Изучена возможность реализации спектрофотометрического контроля основных параметров пленок (толщины, равномерности, показателя преломления и концентрации примеси) окисла кремния, легированных фосфором и бором. Применение созданной быстродействующей компьютеризированной спектрофотометрической системы на базе отечественного спектрометра S100 может обеспечить контроль параметров пленки не только после, но и в ходе ее формирования. Определено, что в видимом диапазоне длин волн показатель преломления пленок существенно зависит от концентрации примеси фосфора и не чувствителен к изменению концентрации примеси бора.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/6087
ISSN: 0321-0367
Licence: info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:2008, №2 (май)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
pages 46-49 from Вестник БГУ_Май_2008_Серия1_№2.pdf1,31 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.