Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/96260
Title: | Закономерности структурно-фазовых превращений в кремнии и системах “металл-кремний” при воздействии высокоинтенсивных электронных пучков : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель В. В. Углов |
Authors: | Углов, В. В. Петухов, Ю. А. Калин, А. В. Кудактин, Р. С. Бибик, Н. В. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2014 |
Publisher: | Минск : БГУ |
Abstract: | Объектом исследования являлись металлосодержащие слои кремния, сформированные путём воздействия низкоэнергетических сильноточных электронных пучков на кремний с нанесенным металлическим слоем. Целью данной работы являлось изучение структуры и фазового состава систем «металл-кремний», полученных в результате электронно-лучевой обработки кремния с предварительно сформированным покрытием металла. Комплексные экспериментальные исследования, результаты которых представлены в работе, проводились методами рентгеноструктурного анализа и растровой электронной микроскопии. В результате исследований установлены оптимальные режимы воздействия сильноточных электронных пучков на кремний и системы «металл-кремний», обеспечивающие формирование металлосодержащих слоев кремния заданной толщины и состава. Моделирование температурных полей в исследуемых материалах позволило установить максимальную температуру нагрева при воздействии электронных пучков, а также скорость охлаждения и градиент температур, которые являются одними из основных факторов, обуславливающих структурно-фазовые превращения в приповерхностных слоях материалов при высокоэнергетических воздействиях. Показано, что воздействие сильноточных электронных пучков позволяет синтезировать слои силицидов металлов толщиной от 1 до 30 мкм, микроструктура, состав и фотоэлектрические свойства которых определяется режимами энергетического воздействия. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/96260 |
Registration number: | № гос. регистрации: 20122475 |
Appears in Collections: | Отчеты 2014 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Отчет_20122475 Углов.doc | 3,58 MB | Microsoft Word | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.