Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/96260
Title: Закономерности структурно-фазовых превращений в кремнии и системах “металл-кремний” при воздействии высокоинтенсивных электронных пучков : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель В. В. Углов
Authors: Углов, В. В.
Петухов, Ю. А.
Калин, А. В.
Кудактин, Р. С.
Бибик, Н. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2014
Publisher: Минск : БГУ
Abstract: Объектом исследования являлись металлосодержащие слои кремния, сформированные путём воздействия низкоэнергетических сильноточных электронных пучков на кремний с нанесенным металлическим слоем. Целью данной работы являлось изучение структуры и фазового состава систем «металл-кремний», полученных в результате электронно-лучевой обработки кремния с предварительно сформированным покрытием металла. Комплексные экспериментальные исследования, результаты которых представлены в работе, проводились методами рентгеноструктурного анализа и растровой электронной микроскопии. В результате исследований установлены оптимальные режимы воздействия сильноточных электронных пучков на кремний и системы «металл-кремний», обеспечивающие формирование металлосодержащих слоев кремния заданной толщины и состава. Моделирование температурных полей в исследуемых материалах позволило установить максимальную температуру нагрева при воздействии электронных пучков, а также скорость охлаждения и градиент температур, которые являются одними из основных факторов, обуславливающих структурно-фазовые превращения в приповерхностных слоях материалов при высокоэнергетических воздействиях. Показано, что воздействие сильноточных электронных пучков позволяет синтезировать слои силицидов металлов толщиной от 1 до 30 мкм, микроструктура, состав и фотоэлектрические свойства которых определяется режимами энергетического воздействия.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/96260
Registration number: № гос. регистрации: 20122475
Appears in Collections:Отчеты 2014

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Отчет_20122475 Углов.doc3,58 MBMicrosoft WordView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.